1. Syahadat
أَشْهَدُ أَنْ لَا إِلَهَ إِلَّا اللهُ
Asyhadu an lā ilāha illallāh.
Artinya, "Aku bersaksi bahwa tiada tuhan selain Allah."
2. Istighfar
أَسْتَغْفِرُ اللهَ
Astaghfirullāh.
Artinya, "Aku memohon ampunan Allah."
3. Memohon Ridho dan Surga Allah
أَسْأَلُك رِضَاك وَالْجَنَّةَ وَأَعُوذُ بِك مِنْ سَخَطِك وَالنَّارِ
Allahumma inni as'aluka ridhakawal jannah, wa a'udzu bika min sakhathika wan-nar.
Artinya, "Tuhanku, aku memohon ridha dan surga-Mu. Aku juga berlindung kepada (rahmat)-Mu dari murka dan neraka-Mu."
Baca juga: Tata Cara, Niat, Keutamaan dan Doa Setelah Sholat Tahajud lengkap, Arab, Latin dan Artinya
4. Ulangi hingga 3 kali.
5. Tasbih (3 kali)
سُبْحَانَ الْمَلِكِ الْقُدُّوسِ