2. Takbiratul ihram
3. Membaca doa iftitah
4. Membac Al Fatihah dan surah pendek
5. Ruku' kemudian tuma'ninah
6. I'tidal kemudian tuma'ninah
7. Sujud kemudian tuma'ninah
8. Duduk di antara dua sujud kemudian tuma'ninah
9. Sujud yang kedua kemudian tuma'ninah
Kemudian dilanjutkan rakaat kedua dengan tata cara yang sama dengan tata cara rakaat pertama.
10. Membaca tasyahud akhir
11. Membaca shalawat atas Rasulullah SAW
12. Salam
13. Membaca Doa setelah Sholat Tahajud
ALLAHUMMA LAKAL HAMDU ANTA QAYYIMUS SAMAAWAATI WAL AARDLI WAMAN FIIHINNA
WALAKAL HAMDU LAKA MULKUS SAMAAWAATI WAL ARDLIWAMAN FHHININ A, WALAKALHAMDU NUURUS SAMAAWAATI WAL ARDLI, WALAKAL HAMDU ANTAL HAQQU WAWA'DUKAL HAQQU WALIQAA-UKA HAQQUN, WAQAULUKA HAQQUN,WAL JANNATU HAQQUN, WAN -NAARU HAQQU!N, WANNABIYYUUNA HAQQUN, WA MUHAMMADUN SHALLALLAAHU ALAIHI WASALLAMA HAQQUN, WASSAA-'ATU HAQQUN.
ALLAHUMMA LAKA ASLAMTU, WABIKA AAMAATLI,WA'ALAIKA TAWAKKALTU, WA ILAIKA AANABTU, WA BIKA KHASHAMTU, WA- LAIK A HAAKAMTU, FAGHFIRLH MAA QADDAMTU, WAMAA AKHKHARTU WAMAA AS -RARTU WAMAA A'LANTU, ANTAL MUQADD1MU WA ANTAL MUAKH KHIRU, LA A ILAAHA ILLA AINTA, AU LA A ILAAHA GHAIRUKA WALAA HAULA W ALAA QUWWATA ILLAA BILLAAHI.