2. Takbiratul Ihram
3. Membaca doa Iftitah, surah Al Fatihah, dan membaca surah pendek Al Quran
4. Lakukan langkah-langkah salat pada umumnya seperti rukuk dan sujud
5. Rakaat selanjutnya disamakan dengan rakaat pertama (kecuali doa Iftitah)
6. Tahiyat akhir dan salam
Disunahkan membaca bacaan wirid, tasbih, tahmid, selawat, Istigfar, kemudian membaca doa sholat tahajud.
Doa Setelah Shalat Tahajud
اَللهُمَّ لَكَ الْحَمْدُ اَنْتَ قَيِّمُ السَّمَوَاتِ وَاْلاَرْضِ وَمَنْ فِيْهِنَّ. وَلَكَ الْحَمْدُ اَنْتَ مَالِكُ السَّمَوَاتِ واْلاَرْضِ وَمَنْ فِيْهِنَّ. وَلَكَ الْحَمْدُ اَنْتَ نُوْرُ السَّمَوَاتِ وَاْلاَرْضِ وَمَنْ فِيْهِنَّ. وَلَكَ الْحَمْدُ اَنْتَ الْحَقُّ وَوَعْدُكَ الْحَقُّ وَلِقَاءُكَ حَقٌّ وَقَوْلُكَ حَقٌّ وَالْجَنَّةُ حَقٌّ وَالنَّارُ حَقٌّ وَالنَّبِيُّوْنَ حَقٌّ مُحَمَّدٌ صَلَّى اللهُ عَلَيْهِ وَسَلَّمَ حَقٌّ وَالسَّاعَةُ حَقٌّ
Allahumma Lakal Hamdu Anta Qayyimussamaa Waati Wal Ardi Wa Man Fiihinna.
Wa Lakal Hamdu Anta Malikus Samaa Waati Wal Ardhi Wa Man Fiihinna.
Wa Lakal Hamdu Anta Nuurus Samaawaati Wal Ardhi Wa Man Fiihinna.
Wa Lakal Hamdu Antal Haqqu, Wa Wa’dukal Haqqu,
Wa Liqaa’uka Haqqun, Wa Qauluka Haqqun,
Wal Jannatu Haqqun, Wannaaru Haqqun, Wannabiyyuuna Haqqun,
Wa Muhammadun Shallallaahu ‘Alaihi Wasallama Haqqun Wassaa’atu Haqqun