Bagi yang melafadzkan niat, niat sholat tahajud adalah sebagai berikut:
أُصَلِّيْ سُنَّةَ التَّهَجُّدِ رَكْعَتَيْنِ لِلَّهِ تَعَالَى
(Usholli sunnatat tahajudi rok’ataini lillahi ta’aalaa)
Artinya: “Aku niat sholat sunnah Tahajud dua rakaat karena Allah Ta’ala”
2. Takbiratul ihram, diikuti dengan doa iftitah
3. Membaca surat Al Fatihah
4. Membaca surat atau ayat Al Qur’an. Rasulullah biasa membaca surat yang panjang-panjang.
5. Ruku’ dengan tuma’ninah
6. I’tidal dengan tuma’ninah
7. Sujud dengan tuma’ninah
8. Duduk di antara dua sujud dengan tuma’ninah
9. Sujud kedua dengan tuma’ninah
10. Berdiri lagi untuk menunaikan rakaat kedua
11. Membaca surat Al Fatihah
12. Membaca surat atau ayat Al Qur’an. Rasulullah biasa membaca surat yang panjang.